半导体制造过程对流体输送的洁净度要求极高,金属软管需满足 “无颗粒、无析出、低挥发” 的核心标准。洁净度控制要点包括:材质选用超纯 316L 不锈钢,杂质含量≤0.03%;生产环境为千级洁净车间,避免粉尘污染;内壁采用电化学抛光 + 钝化处理,确保无金属颗粒脱落;密封件选用全氟橡胶,无挥发性有机物析出。检测时需通过粒子计数器检测,软管内≥0.5μm 的颗粒数≤10 个 / 100mL。广东金属软管工厂建立半导体专用生产线,从原材料到成品全程洁净管控,配合光谱仪与内窥镜检测,产品满足半导体行业 SEMI 标准,适配光刻胶、高纯水等洁净介质输送。佛山市南海区洪昌聚发机电阀门有限公司 (Foshan Nanhai Hongchang Jufa Electromechanical Valve Co., Ltd.)