《半导体行业超洁净旋转接头：高精度传输的技术要求》?

半导体芯片制造对旋转接头的洁净度和精度要求达到行业顶尖水平，产品需在 10 级洁净车间中使用，传输超纯气体和化学液体时不能产生任何粉尘污染。超洁净旋转接头的技术要点包括：材质选用无挥发、低颗粒脱落的特种合金，内表面经电解抛光处理；密封结构采用无接触式设计，避免摩擦产生粉尘；转速稳定性控制在 ±1rpm 以内，确保光刻设备等精密仪器的传输精度。在半导体晶圆制造的蚀刻、沉积工序中，这类产品的泄漏率需低于 10-9Pam3/s，满足超高纯介质的传输要求。随着 3nm 以下制程技术的推广，超洁净旋转接头的市场需求持续增长，成为半导体产业链不可或缺的配套部件。佛山市南海区洪昌聚发机电阀门有限公司 (Foshan Nanhai Hongchang Jufa Electromechanical Valve Co., Ltd.)

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