压力衰减法深受温度变化困扰,因此发展出多种温度补偿策略。被动策略包括:在充气后预留足够长的稳压时间,让气体温度与环境和工件充分平衡;使用隔热材料减少工件与环境的热交换;避免用手直接触摸工件。主动策略更为先进:一种是在测试回路中接入一个与工件容积相近的参考腔,采用差压法测量,可抵消共模的温度干扰。另一种是软件补偿,通过植入温度传感器实时监测工件或测试腔内的气体温度,并根据理想气体定律,将实测的压力变化换算到参考温度下的等效值,从而剥离出纯粹由泄漏导致的压力降。
压力衰减法深受温度变化困扰,因此发展出多种温度补偿策略。被动策略包括:在充气后预留足够长的稳压时间,让气体温度与环境和工件充分平衡;使用隔热材料减少工件与环境的热交换;避免用手直接触摸工件。主动策略更为先进:一种是在测试回路中接入一个与工件容积相近的参考腔,采用差压法测量,可抵消共模的温度干扰。另一种是软件补偿,通过植入温度传感器实时监测工件或测试腔内的气体温度,并根据理想气体定律,将实测的压力变化换算到参考温度下的等效值,从而剥离出纯粹由泄漏导致的压力降。