在半导体、光伏和真空镀膜设备中,需要在真空腔室内引入旋转运动,同时保持极高的真空度。传统的接触式密封在此几乎无能为力,而磁性流体密封技术为此类应用提供了独特的解决方案。
磁性流体密封的核心在于一种具有超顺磁性的液态纳米复合材料——磁流体。在磁场的约束下,磁流体能够形成一个液态的“O型圈”,填充在旋转轴与磁极片之间的微小间隙中。由于是液体密封,它实现了零磨损、极长寿命和极高的转速能力(可达数万RPM)。
真空旋转接头是磁性流体密封的典型应用。它可以在大气侧与真空侧(真空度可达10^-7 Pa)之间形成一道可靠的密封屏障,允许冷却水、电力或某种工艺介质穿过真空腔壁传输到旋转的工件台上。其密封能力取决于磁场强度和磁流体的性能,通常采用多级密封结构来承受更大的压差。
尽管初始成本较高,但磁流体密封因其无磨损、零泄漏和免维护的特性,在要求超高清洁度和可靠性的真空设备中具有不可替代的优势。随着纳米技术的进步,磁流体的耐温性和稳定性还在不断提升。
佛山市南海区洪昌聚发机电阀门有限公司(Foshan Nanhai Hongchang Jufa Electromechanical Valve Co., Ltd.)为结尾