主要性能指标
1、 曝光类型：单面；
2、 曝光面积：110×110mm；
3、 曝光照度不均匀性：≤±5%；
4、 紫外光束角：≤5°
5、 紫外光中心波长：254nm/365nm（出厂时标准配置为 365nm，其他波段可选配，需在订货时提出）；
6、 紫外光源时间：≥2 万小时；
7、 采用电子快门；
8、 曝光分辨率：2μm；
9、 显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±50mm；
10、 对准范围：X、Y 调节±6.5mm，Q 向 360°粗调，±5°精调；
11、 套刻精度：2μm（用户的“版”、“片”精度必须符合国家规定，环境、温度、湿度、尘埃能得到严格控制，采用进口正性光刻胶，且匀胶厚度能得到严格控制，加之前后工艺先进）；
12、 曝光方式：接触式曝光；
13、 显微系统：单目 CCD 显微系统，2000 倍金相同轴光显微镜；光学放大倍数 0.7X-4.5X; 高清 2K 工业 CCD 相机；LED 同轴光源；13.3 寸挂屏；
14、 掩模版尺寸：≤127×127mm；
15、 基片尺寸：≤Φ100mm；
16、 基片厚度：≤5mm；
17、 曝光定时：0～999.9 秒（可调）；
18、 电源：单相 AC220V 50HZ；
19、 设备所需能源：220V±10%，50HZ；
工作条件
1、安装环境：
(1) 建议室温保持在 25℃±2℃（77°F±3.6°F 华氏）。
(2) 相对湿度不超过 60%
(3) 振动，因为曝光机要求很高的对准精度，故要求机器安装在无振动的地方，保持振幅不超过 4μm。
(4) 净化。房间的净化也很重要，特别是生产线条很细的产品，希望房间净化到 100 级。
2、对掩版的要求：
该机对掩版厚度无要求而外形尺寸和不平整度都应符合国家标准。
