全自动显影烘烤设备，集显影、热板烘烤、冷却板块、晶圆转移机械手、晶圆翻转和片盒定位平台于一体。配备 15.6 寸全彩触控屏，直观操作工艺参数。整合百级 FFU 清洁系统，确保洁净环境。底部调平脚座设计，便于设备水平调整，保障工艺精度。
设设备配置备配
设备名称 | 设备数量（套） | 备注 |
*匀胶机 | *4 | *数量可选配 |
*Hot Plate | *2(4 层) | *共 8 个烤盘 |
*Cold Plate | *1(4 层) | *共 4 个冷却盘 |
*晶圆机械手 | *1 | *双牙叉 |
*Cassette 定位平台 | *1 | *可装 4 个 Cassette |
*晶圆翻转 | *1 | *用于两面匀胶时 |
