薄膜应力量测仪

薄膜应力量测设备在直径4英寸至12英寸的各种薄膜和衬底上进行精确的应力测量，并且可以测量不规则样片。

可以进行测定和分析薄膜引起的表面应力以及各种综合应力测量解
决方案，有助于进行故障排除：
?铝应力诱导空洞
?钝化开裂
?硅中的应力诱发位错
?氧化物的应力增加
?高薄膜应力导致的硅开裂