MEMS器件及芯片工艺开发
我们提供硅基MEMS矢量水听器、MEMS压阻式压力传感器、MEMS加速度计、热电堆红外探测器等MEMS芯片的工艺开发服务，可以根据项目的技术要求完成图形化、刻蚀、成膜等客制化服务。
