提供直径为4”至8”的SOI硅片,氧化层的厚度可以根据用户需求而定制。
除了一般的SOI以外也可提供空腔SOI硅片、 厚绝缘层SOI硅片等特殊硅片。
SOI硅片
SOI(Silicon on Insulator)硅片是于氧化膜上成形硅单晶层为构造的硅片。
SOI硅片在高速LSI、低耗电LSI、Power Device、 MEMS等领域被广泛的使用。