产品详情
自主研发各类纳秒、皮秒、飞秒激光切割、刻蚀机，可以根据客户需要提供全方位设备定制开发服务。
主要功能：
用多维超快激光精细微加工系统，通过精密控制多维微位移系统的运动，实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微加工。对各类金属、陶瓷、晶体、半导体以及高分子聚合材料进行超精细精密钻孔、切割、蚀刻以及划槽等微加工处理。
X/Y/Z轴定位精度：±2um / ±2um / ±4um
A/B角度定位精度： 0.003° / 0.003°
自主研发各类纳秒、皮秒、飞秒激光切割、刻蚀机，可以根据客户需要提供全方位设备定制开发服务。
主要功能：
用多维超快激光精细微加工系统，通过精密控制多维微位移系统的运动，实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微加工。对各类金属、陶瓷、晶体、半导体以及高分子聚合材料进行超精细精密钻孔、切割、蚀刻以及划槽等微加工处理。
X/Y/Z轴定位精度：±2um / ±2um / ±4um
A/B角度定位精度： 0.003° / 0.003°