国产自研探针式台阶仪

探针式台阶仪

应用场景

半导体
CMP 工艺形貌监控
CVD 工艺形貌监控
研磨工艺形貌监控
溅射工艺高度测量与监控
光刻厚度测量与监控
刻蚀深度与宽度测量监控

化合物半导体
支持 SiC、GaAs、GaN、Sapphire、
Glass 等化合物半导体上的应用

液晶显示
透明导电涂层（ITO）台阶高度与深度