在半导体晶圆传输领域，微米级精度的运动控制直接决定产品良率。公司凭借13年专注非标定制直线电机平台的技术积淀，其XY平台采用天然花岗岩基台与直线电机直驱技术，有效抑制高频振动，重复定位精度达±1μm，搭配光栅尺可实现亚微米级闭环控制。该平台通过无机械接触驱动，满足一级洁净室标准，已应用于EFEM晶圆前端传输系统，助力国产半导体设备突破国际技术壁垒。
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