半导体制造国产化浪潮中，晶圆传输效率直接制约产线吞吐量。传统机械臂传输存在振动大、精度低的缺陷，而直线电机驱动的EFEM（设备前端模块）凭借高速平滑运动，将晶圆交接时间缩短至0.8秒内，同时定位精度提升至微米级，成为12英寸晶圆厂优选方案。
EFEM技术攻坚
公司聚焦半导体领域，其EFEM晶圆前端传输系统实现国产替代突破：
高洁净设计：不锈钢腔体+低释气材料，颗粒物控制达ISO Class 1标准；
智能调度算法：三机械臂协同效率提升40%，避免晶圆等待空耗；
模块化架构：可扩展对接预对准器、缺陷检测仪等单元10。
市场验证的国产力量
2023-2024年EFEM市占率连续突破15%与21%，跻身国内供应商前列。该系统已用于：
晶圆分选：华为供应链企业产线，每小时处理300片；·
掩模清洗：苹果OLED产线配套，良率提升至99.6%；
芯片封测：小米图像传感器封装线，定位精度±1μm。
从交付到保障的体系支撑
拥有3000㎡百级无尘车间，EFEM系统出厂前经3道洁净测试，承诺整机质保1年并提供48小时应急维护。半导体客户可申请同行业设计案例免费参观体验服务，实地考察上海、深圳合作产线。咨询http://www.hanocn.com/100000/
189#9892##3120
#直线电机#直线电机模组，广东深圳直线电机、深圳直线电机模组平台厂家，汉诺是一家25年行业经验，专注高精密高稳定性直线电机模组平台研发定制生产厂家，公司主要产品有：直线电机、直线电机平台、直线电机模组、气浮平台、压电平台、EFEM晶圆前端传输设备等产品，广泛用于高精密自动化设备，公司拥有一万五千平研发生产车间，完备的6S生产管理，拥有多名十年以上装配经验高级技工，同时，汉诺直线电机公司定制厂家还拥有多台高精密检测设备，如10台雷尼绍激光干涉仪，准直仪、激光多普勒分析仪等，此外，汉诺直线电机平台公司还同哈工大、桂林理工大学等进行多项产学研合作，汉诺直线电机模组平台公司，经过多年发展，积累了各行业多家TOP企业客户，尤其是半导体、激光、3C、LED面板检测、PCB、医疗器械等领域，汉诺公司高精密直线电机模组深入参与苹果、华为、小米等手机、电脑产业链，新能源汽车产业链、光伏产业链等高精密自动化仪器设备厂家的深度合作。汉诺公司高精密直线电机平台能够解决客户微米、亚微米、纳米级等高精密的精准稳定运动控制，纳米级压电平台可以控制在正负3nm左右。包括单轴运动，不同方向的多轴、多维度运动，可以提供从铝型材、钢底板、大理石等不同级别，不同要求的解决方案，协助高精密自动化设备企业解决了众多的精密、精准、稳定，控制运动的众多难题，赢得了广泛的赞誉和信任，公司80%的业绩都是来源于老客户返单和老客户的转介绍。你报参数我选型，至佳匹配才更行。高精密直线电机找汉诺，运行精准稳定无差错。直线电机找汉诺，精准稳定是承诺。#自动化设备厂家 # 自动化设备公司#直线电机哪家好。详情见官网：http://www.hanocn.com/ff0000/main.cshtml