当精密制造步入纳米尺度，气浮直线电机平台成为不可替代的选择。其核心在于气浮导轨以空气膜替代机械轴承，彻底消除摩擦阻力与颗粒物产生，配合直线电机直接驱动，实现“零接触运动”。例如光刻机掩模台需在100mm行程内达到±40nm定位精度，气浮平台成 为唯一可行的技术方案。
气浮平台的技术突破
凭借13年技术积淀，将气浮技术与直线电机融合创新：
纳米级控制：采用线性编码器与自适应算法，位置分辨率达5纳米；·
抗干扰设计：主动隔振底座降低地面振动影响，保障生物芯片检测的成像稳定性；
洁净室适配：全无油设计通过ISO Class 1认证，用于晶圆搬运无污染风险。
高端领域的应用实践
气浮平台已服务超百家精密设备厂商：·
半导体检测：12英寸晶圆缺陷扫描，重复定位精度±0.03μm；
医疗成像：共聚焦显微镜载物台，低波动扫描提升图像信噪比；
科研仪器：太空环境模拟舱定位机构，-50℃~150℃工况稳定运行。
可验证的可靠性保障
产品出厂前经过200小时连续满负荷测试，并承诺整机质保1年。为降低客户决策风险，开放气浮平台同行业设计案例免费参观体验服务，涵盖半导体与医疗领域真实产线。技术咨询http://www.hanocn.com/100000/
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