半导体设备维护成本中，运动部件损耗占比高达34%。解决方案通过技术创新实现：
部件传统方案维护周期汉诺方案维护周期
传动机构 3-6个月 免维护设计
导轨系统 年度更换 >5年使用寿命
定位校准 每周人工调整 自动补偿零干预
可持续设计
直线电机平台：无接触驱动消除机械磨损；
气浮运动系统：空气轴承无润滑需求；
EFEM传输机构：模块化设计支持快速更换。
客户效益实证
华为晶圆分选机：年度维护成本下降42%；
苹果掩模清洗线：设备利用率提升至95%；
小米封装设备：停机时间减少60%。
整机质保1年，提供预防性维护培训。
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