半导体设备前端模块（EFEM）是晶圆厂良率管控的关键环节。汉诺通过直线电机直驱技术重构传输机械臂：
传统方案：皮带/丝杠驱动 → 定位误差±50μm，维护周期3个月
现代方案：无铁芯直线电机 → 精度提升至±2μm，免维护时长>2年
EFEM技术优势
专注非标定制的企业，提供：
定制化设计：根据晶圆盒尺寸、洁净等级需求调整结构；
多技术整合：气浮导轨确保机械臂平稳，压电传感器实时监测振动；
智能控制：运动轨迹自学习算法，适应不同品牌晶圆盒。
国产化进程加速
EFEM系统已通过：
华为12英寸晶圆厂72小时连续可靠性测试；
苹果供应链企业洁净室颗粒物排放认证；
小米图像传感器产线效率验证（UPH≥300片）。
提供整机质保1年及48小时应急响应。参观EFEM应用
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