技术挑战
共聚焦显微镜需在毫秒级完成物镜三维扫描，传统电机无法兼顾速度与精度。
压电创新应用
物镜扫描台：FOCHS.100型压电平台集成于倒置显微镜，Z轴行程100μm，分辨率0.1nm，实现脑切片连续断层扫描；
快反镜系统：AU-TT1偏转镜角度分辨率0.005μrad，用于太空望远镜光轴补偿，抑制卫星姿态扰动；
多光子显微：CUBE3三维平台配合飞秒激光，实现小鼠脑血管网络体成像，扫描速度提升至5帧/秒。
生物医学突破
华大基因STORM超分辨显微镜：
采用LT3压电载物台（厚度20mm），XYZ轴行程300μm；
硅传感器闭环控制使定位精度达±0.2nm，解析出线粒体内膜蛋白40nm聚集态