架构革新
传统并联平台受限于行程（毫米级）与精度（微米级）矛盾。合肥工业大学提出多模态融合驱动：
静态模式：0.5nm分辨率晶圆对准；
准静态模式：1μm/s低速光刻掩模微调；
谐振模式：8.5mm/s高速扫描。
六自由度平台突破
厘米级行程：压电直线电机驱动6支链，动平台工作范围达±10mm，角度±5°；
纳米级精度：激光干涉反馈实现XYZ轴定位±0.1μm，θ轴±0.001°；
应用场景：
光波导封装：南京航空航天大学平台提升光纤耦合效率30%；
卫星推进器装配：航天五院阀芯装配合格率升至99.7%