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系统需求
AFM探针扫描需同时满足：
亚埃级分辨率（0.1?）
千赫兹级扫描频率
零电磁干扰
压电解决方案
三轴超高速平台：SPM3系列采用Z轴谐振频率12.5kHz压电陶瓷，阶跃响应<1ms，实现DNA双螺旋结构的实时成像；
主动抑振设计：压电陶瓷传感器实时抵消6Hz地面振动，振幅控制在<1nm；
真空环境适配：长春光机所定制真空压电平台（10??Pa），实现5nm重复定位精度，用于量子材料表面态研究。
性能对比表
平台类型扫描范围(XY/Z)谐振频率本底噪声适用场景
SPM3标准型 75μm/5μm 2kHz 0.01nm 生物样本成像
SPM3LR大行程 300μm/50μm 12.5kHz 0.03nm 晶格缺陷扫描
BIO3倒置显微型 300μm/300μm 700Hz 0.02nm 活细胞原位观测
案例：北京大学纳米中心采用SPM3LR平台，实现石墨烯摩尔纹超快成像，单帧采集时间缩短至30ms